| 微小領域における成分分析には、Ｘ線マイクロアナライザー(Electron
Probe X-ray Micro Analyzer：EPMA)を使用します。 このＸ線マイクロアナライザーは細く絞った電子線を試料に照射し、その部分から発生する特性Ｘ線を検出して、どのような元素がどのような形で、どこにどの位あるのかを分析する装置です。
Ｘ線マイクロアナライザーには、二種類の分光器があり、特性Ｘ線の波長を識別してスペクトルを作る方法を利用したものを、波長分散型Ｘ線分光器
(Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer：WDS)､特性Ｘ線が有するエネルギーを電気信号に変換してスペクトルを作る方法を利用したものを、エネルギー分散型Ｘ線分光器
(Energy Dispersive X-ray Spectrometer：EDS)、と称しております。
また、これらの分光器を備えた分析機器をそれぞれ、エネルギー分散型Ｘ線マイクロアナライザー (Energy Dispersive
X-ray Micro Analyzer：EDX)､波長分散型Ｘ線マイクロアナライザー (Wavelength Dispersive
X-ray Micro Analyzer：WDX)と称しております｡ |
