微小領域における成分分析

微小領域における成分分析には、X線マイクロアナライザー(Electron Probe X-ray Micro Analyzer：EPMA)を使用します。 このX線マイクロアナライザーは細く絞った電子線を試料に照射し、その部分から発生する特性X線を検出して、どのような元素がどのような形で、どこにどの位あるのかを分析する装置です。
X線マイクロアナライザーには、二種類の分光器があり、特性X線が有するエネルギーを電気信号に変換してスペクトルを作る方法を利用したものを、エネルギー分散型X線分光器 (Energy Dispersive X-ray Spectrometer：EDS)、特性X線の波長を識別してスペクトルを作る方法を利用したものを、波長分散型X線分光器 (Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer：WDS)､と称しております。
また、これらの分光器を備えた分析機器をそれぞれ、エネルギー分散型X線マイクロアナライザー (Energy Dispersive X-ray Micro Analyzer：EDX)､波長分散型X線マイクロアナライザー (Wavelength Dispersive X-ray Micro Analyzer：WDX)と称しております｡

装置
ＥＤＸ（SEM7000外観）
種別	分析方法		分析例
定性分析	数マイクロメートル程度の領域、または微小物に含まれている構成元素を検出し、スペクトルで表す。		※画像をクリックすると拡大します。
定量分析	上記のスペクトル(X線強度)に対応して半定量的に含有量を算出する。
濃度分布 測定	面分析	領域における元素の濃度分布を測定する。
	線分析	測定線上における元素の濃度分布を測定する。

装置
ＷＤＸ
種別	分析方法		分析例
定性分析	数マイクロメートル程度の領域、または微小物に含まれている各種元素を短時間で検出する。		※画像をクリックすると拡大します。
定量分析	上記のスペクトル（X線強度）に対応して、半定量的に含有量を算出する。
濃度分布 測定	面分析	最大80mm平方の領域における元素の二次元濃度をカラーで表す。	※画像をクリックすると拡大します。
	線分析	測定線上における元素の濃度分布を測定する。	※画像をクリックすると拡大します。