技術分野

化学

技術レポート

微小部X線回折測定
(X線回折装置:XRD・照射径100μm)

概要

 X線回折(XRD)は、結晶性物質にX線を照射したときに起こる回折現象をピークとして捉え、そのパターン、ピーク幅、強度等からその物質の化合物種の同定や結晶構造に関する情報を得ることが出来ます。

 微小部X線回折装置では、顕微鏡カメラで観察しながらモノキャピラリを用い、試料表面上回折部直径100μmに設定できその部分だけの情報を得ることが可能です。

 X線モノキャピラリと半導体検出器との組み合わせにより、微小領域の構造解析や微小部分析の測定速度を大幅に向上しました。本装置では微小物質の化合物形態、残留応力測定等の微小部分における各種調査に応用出来ます。

図 1.モノキャピラリ模式図

図 1.モノキャピラリ模式図

特徴

  1. モノキャピラリにより、照射X線を100μmまで絞ることで、サンプルを100μmの領域で構造解析することが可能です。
  2. モノキャピラリは、全反射によってX線を取り出すため、X線の減衰が少なく微小部分析に有効です。

 図2.は装置部品に発生した微細なスケールを分析した例で、このような試料面上の特定部位における測定に、微小部X線回折が有効であることを示します。

図 2.微小部X線回折測定例(分析サンプル及び解析結果)

図 2.微小部X線回折測定例(分析サンプル及び解析結果)